电子工业气体所用气体分为单质气体（如氢、氧、氮„„），多元气体（硅烷，氨、氯化氢）和混合气体（硅烷和氢、磷烷和氮„„）。

气体纯度的含义是指除基本气体外，剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种，如普通纯、高纯和特纯（超纯）。

所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。

至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”，则与具体杂质含量多少有关。

气体纯度表示通常有两类。

对化学家来说，一般用99%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%，99.99999%，99.999999%等纯度表示。

那么其余1%，0.1%，0.01%，0.001%，0.0001%，0.00001%，0.000001%为杂质。

那么气体本身的杂质有哪些？来源又是什么呢？

常规杂质

• H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O

• 原材料中的较难分离物质

特殊杂质

• 颗粒物

• 油份

• 金属离子

• 同位素物质污染

• 亚稳态物质污染

杂质来源

• 原料污染

• 原材料的杂质组分

• 生产工艺副产物

• 工艺失效污染

• 过程污染

• 环境带入：空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分

• 生产装置，管路，充装装置带入：水分，金属元素，颗粒物，油份

• 生产工艺富集

• 包装污染

• 残气污染

• 包装本身带入污染：水分，金属元素，颗粒物

• 包装内壁处理不过关

• 分解聚合污染

• 充装过程污染

• 置换效率低

• 置换气体污染

• 真空度不够